用于半导体器件和集成电路测试的HBM/MM ESD模拟器：LISUN ESD-883D的综合评估

摘要：

静电放电（ESD）是半导体器件和集成电路（IC）失效的主要原因之一。在半导体行业中，进行ESD测试对确保组件的耐用性和可靠性至关重要。本文探讨了人身模型（HBM）和机器模型（MM）ESD模拟器的重要性，重点介绍了专为IC测试设计的LISUN ESD-883D HBM/MM ESD模拟器。我们将详细分析这些模拟器在ESD测试中的功能、工作原理和优势，并提供其技术规格和在半导体测试中的应用的深入见解。

1. 引言

在半导体器件和集成电路（IC）的制造与测试中，静电放电（ESD）是最常见的故障原因之一。静电放电可能会导致设备的即时损坏或长期性能退化。为了确保这些器件在使用过程中的可靠性，必须对其进行ESD测试。为了模拟常见的ESD事件，业界开发了人身模型（HBM）和机器模型（MM）等专业设备。

本文将重点介绍HBM和MM ESD模拟器在半导体器件和IC测试中的作用，重点介绍LISUN ESD-883D HBM/MM ESD模拟器。该模拟器专为评估IC的静电放电抗性而设计，提供了一个可控且可重复的测试环境。

2. 了解ESD模型：HBM和MM

静电放电可能以不同的形式发生，但HBM和MM是测试半导体器件和IC时最常用的两种模型。两种模型根据放电源和相关能量水平来模拟不同的ESD事件。

• 人身模型（HBM）： HBM是一个广泛使用的模型，模拟人类与电子设备接触时发生的ESD事件。它基于假设一个人身体被充电到一定电压，当接触设备时发生放电。HBM通常由一个100 pF的电容器组成，充电到一定电压后，通过一个1.5 kΩ的电阻将电能释放到被测设备（DUT）中。HBM模拟的是设备在人类触摸时可能经历的静电放电能量。

HBM的关键参数：
电容：100 pF
电阻：1.5 kΩ
典型电压：0-8 kV

• 机器模型（MM）： MM是另一个常用的模型，模拟机器或导电工具与电子设备接触时发生的ESD事件。MM基于假设静电放电发生在机器或金属工具与被测设备之间，通常使用200 pF的电容器，并且电阻为0Ω，直接释放电荷。这种模型通常比HBM具有更快的上升时间和更高的峰值电流。

MM的关键参数：
电容：200 pF
电阻：0Ω
典型电压：0-500 V

3. HBM / MM ESD模拟器在半导体测试中的重要性

半导体行业面临着不断提高器件可靠性和抗性要求的压力，尤其是在IC微型化的过程中，这些器件对静电放电的敏感性不断增加。因此，测试半导体器件是否能耐受静电放电事件对减少现场故障、延长产品生命周期以及确保符合行业标准至关重要。

• 设计验证： HBM和MM ESD模拟器帮助半导体制造商验证其设计，确保设备能够承受潜在的ESD事件。
• 质量保证： ESD模拟器确保半导体产品符合行业标准，如JEDEC、IEC等，满足ESD抗扰度要求。
• 故障分析： ESD模拟器也用于识别可能导致设备在遭遇静电放电时失效的设计缺陷。

ESD-883D 半导体静电放电发生器

4. LISUN ESD-883D HBM/MM ESD模拟器用于IC测试

LISUN ESD-883D HBM/MM ESD模拟器是一个先进的工具，专为测试半导体器件和集成电路（IC）的静电放电抗性而设计。该模拟器可以生成HBM和MM脉冲，是半导体行业进行全面ESD测试的理想解决方案。

LISUN ESD-883D的特点：

• 支持HBM和MM两种模型，灵活测试
• HBM电压范围：0-15 kV，MM电压范围：0-500 V
• 多种测试模式，包括单次、连续和自动脉冲
• 精确控制脉冲重复、上升时间和放电持续时间
• 安全特性包括过电压保护和短路检测
• 高精度的ESD事件测量和分析

技术规格：

工作原理：

LISUN ESD-883D通过将电容器充电到指定电压并将其放电到被测设备中来工作。该模拟器设计用于精确地重现静电放电事件，并精确控制脉冲持续时间、电压和上升时间。HBM和MM脉冲基于行业标准生成，确保设备在符合实际ESD场景的条件下进行测试。

5. 半导体和IC测试中的应用

LISUN ESD-883D主要用于以下应用：

• IC和半导体测试： 该模拟器专为评估IC、晶体管、二极管等半导体组件的静电放电抗性而设计。
• 合规性测试： 帮助制造商确保其产品符合全球ESD耐受性标准，包括JEDEC、IEC和ISO等标准。
• 故障分析： 通过对DUT施加ESD脉冲，制造商可以模拟现实中的ESD条件并观察潜在的故障模式，从而进行必要的设计调整。
• 产品开发： LISUN ESD-883D帮助工程师识别半导体设计中的薄弱环节，并进行改进以增强ESD抗性。

6. 结论

HBM和MM ESD模拟器是测试半导体器件和集成电路抗静电放电能力的重要工具。LISUN ESD-883D HBM/MM ESD模拟器为IC测试提供了一个全面、灵活且精确的解决方案，确保它们符合行业标准的ESD耐受性要求。凭借其先进的功能、精确的控制和强大的性能，LISUN ESD-883D在半导体测试过程中是一个不可或缺的工具。

参考文献

“静电放电（ESD）与半导体器件,” IEEE电子器件与材料可靠性期刊。
IEC 61000-4-2：静电放电抗扰度测试标准。